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技术支持

EZ4高精密匀胶机
发布时间:2018-04-19   点击次数:1380次

产品介绍:

名    称:高精密匀胶机

型    号:EZ4

原产地:美国,USA

应    用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

产品概述:

EZ4高精密匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。
  EZ4高精密匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。

EZ4高精密匀胶机性能参数:

l   支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4"圆晶)

l   速度可调范围:100-10000rpm

l   加速度可调范围:100-10000rpm/s

l   转速分辨率:1rpm

l   转速精度:<±5rpm

l   可编程5组5步程序

l   宽电压输入:AC100-230V

产品特点:

l   75W 直流无刷电机,单片机控制

l   高清晰文本显示器

l   可单步和多步匀胶操作

l   PP耐腐蚀内腔,可更换

l   铝合金阳极氧化外壳,美观大方

l   耐溶剂PC透明盖

l   多角度定位铰链设计

l   HDPE真空吸盘

产品外型尺寸:
    250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)

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