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技术支持

EZ6高精密匀胶机
发布时间:2018-04-19   点击次数:1597次

产品介绍:

名     称:高精密匀胶机

型     号:EZ6

原产地:美国,USA

应   用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

产品概述:

  EasyCoater 6匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和PLC控制,5寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。EZ6匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
  EZ6匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,且能够升级自动点胶功能,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。

性能参数:

l  支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圆晶)

l  速度可调范围:100-10000rpm

l  加速度可调范围:100-30000rpm/s

l  转速分辨率:1rpm

l  转速精度:<±5rpm

l  可编程10组10步程序

l  宽电压输入:AC100-230V

产品特点:

l  100W 直流无刷电机,PLC 控制

l  5”全彩触摸屏

l  系统中英文可选

l  带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能

l  HDPE 内腔,SUS 外壳,耐溶剂PC 透明盖

l  真空互锁及盖子开关互锁安全功能

产品外型尺寸:

    358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

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